王曦， 材料科学家。中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。1966年8月生于上海，籍贯江苏南通。1987年毕业于清华大学工程物理系，1990年、1993年先后获中国科学院上海冶金研究所（现上海微系统与信息技术研究所）硕士、博士学位。现任中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长。2009年当选中国科学院院士。
长期致力于载能离子束与固体相互作用物理现象研究，并将研究成果应用于电子材料SOI（Silicon-on-insulator）的开发。在对离子注入SOI合成过程中的物理和化学过程研究基础上，自主开发了一系列将SOI材料技术产业化的关键技术，建立了我国SOI材料研发和生产基地。在载能离子束与固体相互作用以及离子束辅助薄膜沉积技术研究方面，揭示了载能离子作用下薄膜表面微结构、相组分、电子学、光学、生物学特性，实现了载能离子束薄膜生长的可控制性。曾获国家科技进步一等奖及何梁何利基金科学与技术进步奖等多项奖励。
1983—1987年 清华大学工程物理系核材料科学专业学习
1987—1990年 中国科学院上海冶金研究所材料物理专业硕士研究生
1990—1994年 中国科学院上海冶金研究所研究实习员（其间：1990.09—1993.12中国科学院上海冶金研究所材料物理专业在职研究生学习，获工学博士学位；1993.07—1994.05澳大利亚联邦科学与工业研究院访问学者）
1994—1995年 中国科学院上海冶金研究所副研究员
1995—1996年 中国科学院上海冶金研究所第十六研究室副主任
1996—1997年 中国科学院上海冶金研究所第三研究室副主任
1997—1998年 中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室主任
1998—2001年 中国科学院上海冶金研究所第三研究室主任（1996.05—1998.06德国罗森多夫研究中心访问学者）
2001—2002年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所第三研究室主任
2002—2004年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长助理、第三研究室主任兼上海新傲公司经理（其间：2003.09—2003.12上海市科技党校中青年干部培训班学习）
2004—2007年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所副所长、党委副书记
2007—2009年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所党委书记、副所长
2009—2010年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所党委书记、常务副所长（2009.12当选中国科学院院士）
2010—2016年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长
2016—2019年 中国科学院上海微系统与信息技术研究所所长兼中国科学技术协会副主席（2017.04任中国科学院上海高等研究院院长）
2019—2020年 科学技术部副部长、党组成员，中国科学技术协会副主席（兼）
2020—2022年 广东省政府副省长、党组成员
2022— 广东省委常委，省政府副省长、党组成员
第十九届中央候补委员 中国共产党广东省第十三届委员会委员 广东省第十三届人民代表大会代表。
